Ziel des Projekts ist die Entwicklung und Demonstration neuer Technologien und Entwurfsmethoden, mit deren Hilfe robuste, energieeffiziente Multisensor-Mikrosysteme mit mikromechanischen und mikroelektronischen Sensor-Komponenten auch in begrenzten Stückzahlen für Industrieapplikationen systematisch entworfen und kosteneffizient gefertigt werden können. Damit sollen auch KMUs der Sensorik-Branche befähigt werden, integrierte Multisensorsysteme für Industrie 4.0-Anwendungen in einer gemeinsamen Wertschöpfungskette mit F&E-Dienstleistern und Halbleiter-Herstellern schneller, sicherer und wirtschaftlicher als bis-her entwickeln und vermarkten zu können.
Lösungsweg: Es werden industrielle Technologieangebote und Entwurfsverfahren erarbeitet, mit denen die Entwicklung von MEMS-Sensoren und integrierter Multisensor-Elektronik unter besonderer Berücksichtigung von Robustheit und Energieeffizienz mittels qualifizierter Standard-Fertigungsprozesse ermöglicht wird. Dies umfasst u.a. verbesserte Verfahren zum rechnergestützten Entwurf von MEMS-Sensoren mit Foundry-Technologien, die erstmalige Bereitstellung eines speziellen Foundry-Process-Design-Kits (PDK) für Ultra-Low-Power-CMOS-Mixed-Signal-ASICs sowie neue Mixed-Signal-IP-Komponenten zur Steigerung der Entwurfs- und Testeffizienz für Multisensorsysteme.
Verwertung: Die Projektergebnisse werden von den Konsortialpartnern für die Entwicklung zukünftiger Multisensor-Produkte und deren Integration in Industrie 4.0-fähige Anlagen genutzt. Zum anderen werden die in RoMulus entstehenden Multisensor-Entwurfsverfahren und IP-Lösungen über Foundry-PDKs, EDA-Werkzeuge und F&E-Dienstleistungsangebote einem breiten Anwenderkreis öffentlich zur Verfügung gestellt. RoMulus leistet damit einen essentiellen Beitrag zur Abdeckung des im Positionspapier von Silicon Germany zur „Bedeutung der Mikroelektronik für Industrie 4.0“ genannten spezifischen Technologie- und Forschungsbedarfs. Hieraus ergibt sich eine umfangreiche Hebelwirkung für die Innovationsfähigkeit der deutschen Sensorik-Branche weit über das Projektkonsortium hinaus.
